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真空镀膜中电阻加热式蒸发舟活动电极

2002年 应用技术
  • 成果简介
该实用新型专利是在真空镀膜系统中，用电阻加热式蒸发舟的电极，特别涉及到对于需要多次加料的电阻蒸发舟支持电极的改进。该活动电极包括：电极柱、法兰、螺钉、电极连板、电极夹板、蒸发舟、轴、导线、转动电极连板和固定电极连板。它的转动电极可避免由于固定式电极在通电加热后，以及蒸发舟在上下装卸的过程中，由于应力的作用引起蒸发舟材料的折断，从而提高蒸发舟的使用寿命。由于在蒸发的升温和降温整个过程中不发生反复的弯...
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