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系列低返油新型凸腔式油扩散泵

1999年 应用技术
  • 成果简介
KT系列低返油新型凸腔式油扩散泵为专利产品。其主要的性能特点是返油率低(比目前的常规产品低一个数量级)，其次是抽速大。高真空油扩散泵是用来获得10^(-2)-10^(-7)Px高真空和超高真空环境的最主要的设备，目前已广泛地应用于电子工业、化学工业、冶金工业、原子能工业等技术领域。如真空镀膜机、真空电子轰击炉、真空烧结炉、电子显微镜等。...
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