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多芯炉生产SiC新技术

2001年 应用技术
  • 成果简介
该研究开发的多芯炉生产SiC新技术，采用炉内多炉芯发热代替传统的单炉芯发热，有效地利用了热能。具有传热距离短、热阻小、炉内温度梯度小、传热速度快、温度场均匀、保温性能好和热效率高等特点。多芯炉生产碳化硅新工艺具有节能、低耗、高产、高质量，生产安全、不喷炉、粉尘少、操作方便、易于避峰供电等优势。该项目所设计的组合电极和多炉芯炉体结构，具有多功能性，调整和运转灵活，易于炉体大型化及在原有设备上实施改造...
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