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等离子体增强脉冲激光沉积纳米薄膜与纳米功能材料的机理与性能

2002年 基础理论
  • 成果简介
  本项目由湖南省教委中青年科研基金资助,主要是关于纳米薄膜和纳米功能材料的机理和性能的基础研究,具体涉及纳米薄膜制备装置的研制、开发和纳米功能材料的机理和性能的计算和模拟。在设备的研制开发方面,将等离子体技术和脉冲激光技术有机结合起来,于1997年底研制出当时处于国内领先水平的可应用于各种薄膜制备和激光与物质相互作用和成膜过程的物理、化学等方面的基础研究的等离子体增强脉冲激光沉积系统。该系统在传...
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