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光学薄膜厚度实时监测系统

2004年 应用技术
  • 成果简介
该薄膜厚度监测系统利用光电极值法的原理对光学薄膜厚度进行在线自动监测。针对现有的监测系统漂移大、不稳定及精度低等缺陷，设计了全新的光学系统、电路系统和计算机的相关算法，实现了对光学薄膜厚度的高精度在线监测，并完成了对极值点的自动判读工作。其主要特点是：1.实现了对系统中共模干扰的跟踪抑制，降低了系统输出信号的漂移程度，提高了系统的长时间稳定性；同时降低了对系统中光源和光电倍增管供电电源的稳定性要求...
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