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金刚石薄膜压力和温度传感器研制

2003年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　探索出利用灯丝法CVD制取应力敏元件的掺硼金刚石的合成工艺参数，表面处理、退火工艺与组织结构及各项性能间变化规律，为压力和热敏元件的合成、应用、生产提供实验和理论依据；研制出掺硼金刚石薄膜压力和热敏元件（根据掺硼金刚石薄膜的热敏特性，可制出热敏元件，由此得到温度传感器）实用样品，并使之在压力和温度传感器中得到应用；由于压力和温度传感器应用范围和种类很多，因此可以研制各种载荷范围和种类的实用型掺...
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