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厚膜压力传感器工程化研究

2000年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
该成果为国家“九五”重点科技攻关项目，完成了厚膜压力传感器的生产技术、结构、性能及可靠性设计。解决了厚膜压力传感器六项关键技术：传感器的大批量印刷；烧结及质量控制技术；高可靠的封装技术；传感器表面保护技术等。该成果已在南京中旭微电子公司建成中国第一条大批量厚膜压力传感器生产线，提高了产品的一致性、系列化及合格率，并掌握了相应的质量控制技术，实现了厚膜压力传感器的大批量生产。应用范围：该成果目前已形...
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