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大尺寸优质蓝宝石晶体衬底材料

2004年 应用技术
  • 成果简介
蓝宝石晶体是综合性能最好、使用最广泛的氧化物衬底材料,主要用作氮化物半导体衬底、大规模集成电路衬底等,其国内外市场是长期的、永久的。蓝宝石晶体还是红外军用装置、导弹、潜艇、卫星空间技术、探测和高功率强激光等的窗口材料,优质光学材料,耐磨轴承材料等。70年代末,上海光机所创立了导向温梯法(TGT),88年获得专利权。在“八五”和“九五”863计划的支持下,用温梯法成功生长了尺寸达Φ115×80mm^...
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