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半导体集成电路生产工艺监测设备

2004年

应用技术

成果简介

CSM4A系列多功能C-V测试系统，经国家“七五”、“八五”两届重点科技攻关，已在该校研制成功，并被多个半导体集成电路生产厂家和研究所使用。该项目由陈光遂教授主持完成。原电子工业部鉴定认为：该C-V测试系统具备八项测试功能，数据可靠，实用性强，人机界面良好。总体水平已达到九十年代国际先进水平，并有独创性，可以替代进口设备。主要测试功能有：MOS高频CV，MOS衬底掺杂浓度分布，pn结低掺杂边掺杂浓...

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