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JM-1型纳米金刚石离子镀膜机

2004年 应用技术
  • 成果简介
该项目为纳米尺度金刚石离子镀膜设备的研制开发，项目利用固体离子原，形成纯碳离子束流，在样品上沉积纳米尺度的类金钢石或金刚石膜。该项目的创新是：使用固体离子源，采用电磁滤质系统、解决了离子镀膜中存在大颗粒、镀层不均匀、纯度不高等问题，可以沉积纳米尺度膜层，并实现了镀脱生产的完全计算机控制。项目技术为国内首创，达到国际领行水平。该项目可广泛应用于电子、光学、工刀具和耐磨保护涂层等工业领域。...
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