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从液相外延液中回收高纯金属镓工艺方法

2004年

应用技术

成果简介

该发明属于液相外延制备III－V族化合物半导体光电子材料领域，涉及一种对从液相外延废液中回收高纯金属镓工艺方法的改进。用该发明回收高纯金镓的杂质含量小于3μg/g，用其生产的外延片的基本参数与采用日本进口高纯镓一致。对液相外延后的废液回收和再利用大幅度降低LED成本，是保证GaAlAs LED实现国产化的关键技术。...

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