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智能溅射离子泵电源控制器

2004年 应用技术
  • 成果简介
溅射离子泵(Sputter-ion pμmp)由于其清洁无油、对多种气体的抽气能力、以及不怕震动和易于维护，是目前超高真空获得系统中使用最广泛的一种真空泵，广泛应用于分析仪器、材料研究、加速器、光束线、储存环、空间环境模拟、镀膜技术以及其它要求无污染的环境。溅射离子泵是靠电磁场的作用产生潘宁放电而使气体分子电离，利用电离产生的离子轰击并溅射阴极板(钛板)，使电离了的气体分子收附于其中或利用溅射的吸...
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