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光学元件面形及波纹度误差实时修正方法及装置

2004年 应用技术
  • 成果简介
该发明涉及一种对光学元件面形误差、尤其是对于表面细小带差及波纹度误差实时修正方法及装置的改进。采用CCD摄像、计算机及图像处理与传统修正方法相比修抛精度提度、修磨针对性强、定位准确、加工过程能够对误差进行定量描述，适用于解决数控高精度非球面光学元件加工过程中的波纹度误差及细小带差。对于空间军用质量成像光学系统、激光核聚变系统、X光光刻系统中的高精度光学元件的加工，与数字面干涉仪配合使用将扩展仪器的...
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