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S-4200场发射扫描电子显微镜

2003年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
原有的S-4200型扫描电镜能谱分析不能满足物理所科研工作的要求，如不能准确测量轻元素B、C 、N、O等成份和对几十纳米到几百纳米尺度的颗粒成份的测试。升级改造后，元素分析具有很高的准确度；一次扫描记录所有数据，可多次重复调用数据，无需电镜能谱开机和样品入镜；不仅能分析元素成份，而且可给出相成份和相分布及相图。...
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