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金刚石膜的大型EACVD沉积设备研制及其生长工艺研究

2003年

应用技术

中期阶段

成果简介

　　八十年代初，用化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition简称CVD）方法合成了薄膜状金刚石，克服了小颗粒状金刚石尺寸限制，使得金刚石特别优异的机械性能、热学性能、光学性能、声学性能、电学性能及半导体性能能充分发挥出来，因此CVD金刚石的研究受到欧、美、日等国家高度重视，纷纷投入巨资进行研究开发，使得金刚石膜成为世界范围的研究热点。
目前，金刚石膜已在切...

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