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玻璃与金属、半导体和陶瓷的电场辅助阳极精密连接技术

2004年 应用技术
  • 成果简介
成果简介：精密连接是国家推荐优先发展的先进制造技术之一，是高技术产业化的支柱。近年来，发达国家如美国、日本和德国在开发结构陶瓷实用连接技术的同时，在器件制备方面重点是开发玻璃与金属、半导体与半导体、半导体与金属等的低温电场辅助阳极连接(Electric Field-Assisted Anodic Bonding)，已取得了一些突破性的进展和理论研究成果，对微传感器、控制工程、信息产业起到了积极的推...
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