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压电陶瓷电场辅助连接技术

2004年 应用技术
  • 成果简介
成果简介：电场辅助阳极连接(Electric fied-assisted anodic bonding)是借助外加电场连接玻璃或陶瓷与金属或半导体的一种精密连接技术。相比传统的熔封或胶接方法，其特点是：连接温度低(低于玻璃软化温度)，变形小，不破坏材料物理性能，工艺简单，连接可在真空中进行，也可在保护气氛下进行。由于以上特点，电场辅助阳极连接技术日益受到重视，应用也愈来愈广。该技术侧重于两个方面。...
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