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2″蓝宝石单晶和蓝宝石衬底片

2003年 应用技术
  • 成果简介
该项目采用提拉法生产工艺，成功解决了大坩埚与热场的合理分布，克服了<001>方向蓝宝石生长过程中易出现的双晶问题，从而实现了高效、稳定地制备出性能优良的2″蓝宝石单晶体，生产出达到外延要求的抛光蓝宝石外延衬底片。该研究成果达国内先进水平。...
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