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传感器计算机辅助设计应用技术研究

2001年 应用技术
  • 成果简介
建立针对传感器的CAD工作系统，研究传感器CAD席用技术，为传感器产品的开发和生产提供重要手段。主要研究内容包括：建立、优化硅力敏器件(压阻式、电容式)的有限元模型并实现模型的参数化；通过对力敏器件和传感器的结构进行线性、非线性应力分析，实现结构参数的优化设计；通过力敏器件的性能模拟，实现器件的优化设计；建立硅力敏器件工艺模型，实现传感器平面工艺模拟；建立磁敏传感器(霍尔元件)的模型，对其性能实现...
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