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功率光导开关砷化镓基体材料特性的研究

2001年 应用技术
  • 成果简介
该项目提出了用化学镀在GaAs表面制备Cu膜的工艺，利用自催化效应、络合剂的作用和镀Cu过程中Cu的还原反应对镀液酸碱度敏感的特性，解决了镀Cu过程中使Cu沉积只发生在CaAs表面、防止相关化学反应中非Cu沉积物在GaAs表面沉积和控制适当的Cu沉积速率三个难题，使镀制的Cu膜纯度高、厚度均匀、附着性好。该成果达国际先进水平。...
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