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TG-46S双体双面多弧离子镀膜机

2001年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
TG-46S双体双面多弧离子镀膜机为大型多弧离子镀膜机的新机型，采用双体技术，两台机组共用一套真空和电控系统，使生产效率大大提高，且采用环柱形工作室，在环柱形工作室内外配置离化源，使得工件在经一次预处理后，在同一镀膜室，同一镀膜工艺中实现双面镀层。该设备具有较高的生产率，能充分利用真空机组和离化源电源从而使能耗和生产成本大幅度降低，该成果主要应用于镀膜机的制造，达国内领先水平。...
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