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螺旋式真空无油泵

2004年 应用技术
  • 成果简介
无油真空泵号称“21世纪绿色真空泵”,它的主要优点是不污染环境,不污染被抽空间,广泛用于半导体行业、电工行业、医药行业和食品包装行业。该产品是该校新开发的产品,属于该课题组继活塞式、螺杆式无油真空泵后新设计的产品,它比活塞泵寿命长,比螺杆泵好加工。主要技术指标:极限压力33Pa,抽气率15L/s,功率5kW,电机转速3000-3600rpm,泵转子转速8000rpm。应用范围和市场分析:半导体行业...
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