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ZTGⅡ型系列微机控制离子镀膜机

2001年

应用技术

成果简介

多弧离子镀是属于物理气相沉积(PVD)技术中的一种最新的真空镀膜方法，其原理是利用低压气体真空弧光放电，弧斑蒸发阻极物质并沉积到被镀工件之上，形成阴极物质与反应气体生成的化合物镀层。如：重金属T1作为阴极，N2作为反应气体，则可在被镀工件表面形成TIN镀层。ZTG-Ⅱ型系列微机控制离子镀膜机用可编程序控制器作为现场控制的核心。其中模拟量(真空镀、N_2及Ar气流量)的控制是用PLC实现模糊控制方案...

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