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厚膜压阻式三轴向加速度传感器

2001年

应用技术

成果简介

该厚膜压阻式三轴向加速度传感器包括敏感元件和与其电连接的X、Y、Z轴向桥路。敏感元件部分包括外边缘的固支结构、陶瓷圆膜片、小瓷环和质量块。在改变敏感元件设计时，敏感元件和X、Y、Z轴向桥路组合成E型膜片。厚膜力敏电阻的温度特性和桥路设计可消除三轴向之间的机械耦合，对调整传感器输出和频率响应十分灵活。...

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