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脉冲辅助过滤电弧沉积薄膜装置

2001年 应用技术
  • 成果简介
该实用新型专利是一种表面多弧离子镀膜装置。它在真空室中密封安装了通入气体的机构，真空室壁接地为阳极，其上安装至少一个欲镀材料的电弧蒸发源靶，并与直流电源的阴极相连接；在真空室底部有一放置工件的支架，支架下有向工件提供加热的机构和偏压电源，在所述的真空室内电弧蒸发源靶下方安置至少一个直线型磁场线圈，支架下向工件提供偏压的电源是脉冲偏压的电源/直流偏压的电源，每个电源通过开关与工件电连接。...
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