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平面显示器连续镀膜装置

2001年 应用技术
  • 成果简介
这种平面显示器连续镀膜装置由5个长方形箱体的喷淋烘干室、进样室、溅射室、翻转室、电子束蒸发室及抽气机构等组成。在该装置中喷淋烘干室为非真空室，进样室、溅射室、翻转室和电子束蒸发室为线列式连续镀膜的真空室。手动矩形闸板阀装于真空室间，抽气用4台涡轮分子泵分别连续在四个真空室与4个机械泵间，其中溅射室另连与进样室共用的涡轮分子泵。该装置应用磁控溅射制备绝缘膜及电子束蒸发发光膜，其薄膜质量高、镀层牢固、...
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