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离子束溅射镀膜机

2001年 应用技术
  • 成果简介
该离子束溅射镀膜装置由镀膜室、离子枪、旋转靶、衬底夹持架等组成。该镀膜机结构如下：镀膜室为圆筒形，离子枪位于镀膜室顶部，镀膜室中部倾斜45°角安装旋转把；离子枪引出栅轴心线与旋转把一面靶材中心点位于同一垂直轴线上；镀膜室中部同一高度向右侧安装衬底夹持架，在其上样品表面与反射束流方向垂直；离子枪与旋转靶及旋转靶与衬底夹持架间装有挡板；镀膜室底部与真空抽气装置连接。该镀膜机操作方便，镀膜质量高，可用于...
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