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脉冲激光淀积装置

2001年 应用技术
  • 成果简介
该脉冲激光淀积装置由真空室、转靶机构、样品架、加热炉、离子枪和真空抽气装置组成。其中真空室为球形，转靶机构和样品架分别安装在真空室里，相对设置，且在一个中心线上。所述真空室球体上设有多个法兰窗，其中两个法兰窗在激光入射束与转靶面相交45°角处，于样品架两侧；离子枪安装于转靶机构一侧的真空室球体上，加热炉设在样品架上的两个磁力轴间，真空室底部与真空抽气装置接通。该装置设计合理、工作方便，效率高、噪声...
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