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高精密五维微调样品架

2001年 应用技术
  • 成果简介
这种高精密五维微调样品夹持装置由真空机械转轴、三维运行组件、陶瓷封接器件、低温冷却器、样品杆组件和样品夹持件组成。其真空机械转轴穿过三维运动组件、低温冷却器安装至样品杆组件处，陶瓷封接器件安装在三维运动组件支座上，低温冷却器设置在三维运动组件下方，于样品杆组件上与样品夹持件相连，样品杆组件通过支架安装在真空机械转轴底端，样品夹持件固定在样品杆组件的支架上，并与陶瓷封接器件电连接。该样品架具有五维微...
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