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尺寸可控的纳米级银颗粒镶嵌钛酸钡薄膜

2001年 应用技术
  • 成果简介
该发明公开了一种将尺寸可控的纳米级银颗粒镶嵌在钛酸钡薄膜中的方法：先制备复合靶，再处理基底，及进行溅射，最后是热处理。制备时，采用银和钛酸钡的复合靶，在氩气压为2×10^(-2)托，溅射功率范围为100-150瓦的条件下进行溅射。基底可采用抛光的硅单晶片、石英光学玻璃片及新处理的氯化钠单晶片。溅射期间基底不加热，可得到纳米级银颗粒均匀镶嵌在非晶钛酸钡中的复合薄膜。对所得薄膜进行退火处理，使非晶钛酸...
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