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制备薄膜装置中用的金属平板加热器

2001年 应用技术
  • 成果简介
该发明涉及一种薄膜制备设备中的加热装置，该装置由加热板、电极引线、控温仪、电流取样器、热电偶组成；这种金属平板型加热器由耐高温导电材料做成中间发热区，两端为加厚的低电阻区，用电极引线夹板把金属箔电极与加热板两端连接，大电流变压器接到控温仪的可控硅输出端，变压器次级输出端接到加热板上，加热电流感应取样线圈或热电偶温度取样接到控温仪信号输入端。该发明抗机械冲击力强，不易损坏。又因采用电极软连接，在高温...
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