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硅-金属双层结构薄膜热电堆

2001年 应用技术
  • 成果简介
该发明涉及一种硅－金属双层结构薄膜热电堆。主要由硅片衬底、衬底一面上的J形或L形多晶硅或金属薄膜条、隔离绝缘层、隔离层上面的L形或J形金属或多晶硅薄膜条、测量结点和串连参考结点、输出端和衬底另一面的空穴腔构成。该发明采用分层立体设计，不但拓宽了热电堆中布置元件的空间，使微小型化薄膜热电堆尺寸更小，串联的热电偶元件数量更多，而且有效地提高了输出量和性能，是一种设计简练、实用的薄膜热电堆。...
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