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大面积双面抛超精密加工蓝宝石基片

2003年 应用技术
  • 成果简介
产品功能及应用领域：主要用途是外延生长氮化镓，制造蓝色发光二极管、绿光发光二极管和蓝色激光器，用于各种新型光源、户外大屏幕显示和高密度数据存储。产品主要技术性能指标：蓝宝石单晶基片的表面粗糙度Ra＜1nm，直径大于50.8nm，表面平整小于20微米，总厚度偏差小于20微米，晶向偏差小于0.25度，在国内首次实现了高精度、大面积的批量化生产，每月产量可达到1万片。技术特点：采用上下抛光盘浮动结构的专...
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