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光波导薄膜的溶胶-凝胶制备及微细图形化新技术的研究

2003年 应用技术
  • 成果简介
项目简介：薄膜的微细图形化技术是溶胶－凝胶法在集成光电器件直接的关键技术之一。该课题申请人于1994年参加日本Kinki大学N.Tohge教授的课题组，在Al_2O_3及Al_2O_3-SiO_2薄膜制备及微细图形化方面作过大量研究工作，并制备出线密度达到1000条线/mm的Al_2O_3的薄膜光栅。1999年回国后在有关部门资助下对SiO_2薄膜的制备及微细图形化作了大量的工作，研制成功感光性S...
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