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电子工业用气体-硅烷GB/T15909-95

2002年 应用技术
  • 成果简介
硅烷是很重要的硅源气体，广泛用于电子、新能源、新陶瓷、光纤等领域。特别是在集成电路生产中，用作多晶硅和单晶硅外延淀积，二氧化硅低温化学汽相淀积，非晶硅薄膜淀积等。国际上硅烷新技术的开发应用，使它已成为多种新材料、新工艺的基础，是各国注目的高科技产品。微电子工业是硅烷的重要应用领域，集成电路的集成度越高，对硅烷质量要求也越高。从八十年代开始，世界上有能力生产硅烷的国家为了反映自射硅烷的质量水平，都制...
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