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铁电薄膜的制备及应用技术

2001年

应用技术

成果简介

该项目研究出具有特色的制备铁电薄膜的Sol-Gel技术：在多晶Pt/Ti/SiO/SiN/SiO/Si基片上制备出PLT、PZT、PYZT、PbTiO和BST多晶铁电薄膜，在(111)Pt/SiO/SiO/Si基片上制备出PLT和PZT异质外延生长铁电薄膜，其铁电和热释电性能达到国内外先进水平；研究了铁电薄膜测试技术，研制出ZT-1铁电材料参数测试仪和计算机数据、图形处理系统；解决了制备铁电薄膜热...

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