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铁电薄膜的多离子束反应共溅射制备及红外热释电应用

2001年 应用技术
  • 成果简介
该项目在铁电薄膜新制备技术的开发、多离子束制备铁电薄膜的生长机制、多离子束反应共溅射模型与反应共溅射机制、铁电薄膜物化结构性能表征、以及铁电薄膜热释电应用和铁电集成应用原理研究等方面取得了一批具有首创性的、在国内外有重要影响的研究成果。该研究成果具有重要的经济价值和社会科学意义，使中国在薄膜制备新技术的研究与开发的国际竞争方面占有一席之地，在国内外已有较大影响。该项目的研究成果可以用于多离子束反应...
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