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金刚石薄膜应用基础研究

2001年 应用技术
  • 成果简介
该项目按计划完成了“计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统”样机并进行了可靠性试验，用该设备，在夜间无人值班的情况下连续工作1周，制备出mm级优质金刚石薄膜和金刚石基多层膜DF/SiCN。项目取得的主要成果有：空间分辨光发射谱采集器；光热偏转热导系数测试仪；计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统的控制软件；光热偏转薄膜热导测试系统控制软件。成果获多项专利。空间分辨光发射谱采集器和计算机编程控制CVD金...
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