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一种基于散射原理对不透明材料内部微/纳米级体缺陷的检测方法

2001年 应用技术
  • 成果简介
该项目持有方为清华大学。一种基于散射原理对不透明固体材料内部微/纳米级体缺陷的检测方法，其特征是用针对被检测材料透明或半透明的光源，发出波长为0.8-11.6μm单色的激光光束经小孔空间滤波后，进入聚焦系统聚为一微细光束，将此微细光束打入被测材料内部，通过三维超精密工作台移动被测材料，实现聚焦激光光束焦点对材料内部各层面的扫描，将图像传感器放在与由激光器、小孔及聚焦系统构成的光轴垂直的方向上接收散...
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