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多层功能陶瓷薄膜复合技术及界面结构研究

2001年 应用技术
  • 成果简介
单功能材料复合成多功能膜是材料智能化的重要途径之一。该项目采用多步化学法制备出压电陶瓷PbTiO_3/NiTi复合膜及采用磁控溅射物理法制备出NiTi膜。研究了复合膜的界面结构和NiTi膜热处理析出相。通过复合膜的界面结构分析和控制，使金属与压电陶瓷间的结合力大大提高，压电陶瓷表面亦相应提高。NiTi膜析出相和膜层微结构分析为控制膜层质量及调节相变器提供了一条新的途径。研究成果为实施多层膜元器件智...
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