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用于纳米电子器件的新型导体和介质

2001年 应用技术
  • 成果简介
集成电路的集成度越高，要求线宽的尺寸就越小。如果最小线宽小于0.10微米(即100纳米)，则硅材料和现行的光刻、掺杂等半导体工艺就很难适应，由此出现了一个新的研究领域，被称为“有机纳米电子器件”。该项目研究有机纳米电子器件用的介质膜和有机导线。前者利用低能(几个电子伏)、强电场(每米10亿伏)制备出表面平整、结构有序、类似于单晶那样的聚苯乙烯薄膜(一般聚苯乙烯的结构为杂乱无章的线段状)。后者则是利...
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