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金属诱导横向结晶及其在低温薄膜晶体管中的应用

2003年 基础理论
  • 成果简介
　　金属诱导非晶硅横向结晶是一种制备多晶硅材料的新工艺，其基本过程是在非晶硅薄膜上选择性覆盖一层金属，在随后的退火过程中，金属不仅诱导了覆盖层下的非晶硅结晶，而且覆盖区外的非晶硅也将出先结晶现象。利用这种方法可在较低的温度下获得多晶硅，这一技术在液晶显示器中有很好应用前景。
　　本项目通过大量实验对金属镍诱导结晶与横向结晶作了详细研究，获得如下结果：
1、在镍诱导非...
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