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光电和半导体材料的离子注入及其特性研究

2000年

应用技术

成果简介

该项目主要研究内容有：离子注入光电晶体光波导的形成及其机理研究。用MeVHe^+多级能量注入在KTP晶体上形成光波导，用棱镜耦合法观察到15条亮模，提出了离子注入光波导中的折射率分布与注入离子种类有关，并与注入过程中每个离子产生的空位有关。首次在国际上报道了离子注入Nd：YVO_4波导的形成，并测得了其荧光光谱，用脉冲激光淀积(PLD)首次在KTP晶体上实现高浓度掺杂(百分之几原子比)Er的波导激...

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