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纳米金刚石膜涂层及工业应用

2002年 应用技术
  • 成果简介
纳米金刚石的金刚石晶粒尺寸在100nm以下， 表面极其光滑平整，摩擦系数极低(可小于0.05)，因此是十分理想的工具(模具)涂层和光学涂层材料，同时在MEMS(微机电系统)和高性能大屏幕(场发射)显示技术等领域也有非常好的应用前景。技术方采用微波等离子体CVD和DC Arc Plasma Jet CVD两种工艺方法，在玻璃、硅、钼和硬质合金等衬底材料上成功制备了纳米金刚石膜。在玻璃衬底上制备的纳米...
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