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化学气相沉积金刚石膜设备

1999年 应用技术
  • 成果简介
该设备的工作气体为氩、氢及液化石油气。设备功率100kW、30kW、15kW。成膜直径105、60、50mm。生长速率25-50μm/h。成膜量300-1000mg/h。热导率8-12W/cm.K。膜厚不均匀度≤15%。它可适用于半导体微波器件和半导体激光器热沉积，刀具、钻具和拉丝膜的生产上；它还可用于新型红外光学窗口材料的制取开发上。该设备可用于金刚石膜成膜机理研究和教学上。目前该设备处于应用开...
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