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新型多光谱超窄带集成滤光片的研究

2005年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
  多光谱航天遥感技术正在向光谱通道更多,集成度更高,体积更小和重量更轻的方向发展。本项目将通过改变F-P滤光片隔层的光学厚度来实现对滤光片出谱通道的选择,并将组合刻蚀技术与滤光片制备技术相结合,来实现新型多光谱超窄带集成滤光片制备的技术,进而得到集成多个通道的滤光片样品。
  其主要研究内容:滤光片的制备和光学对称研究;间隔层不同深度凹槽陈列的制备;微尺寸器件的光谱测量研究。
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