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锆钛酸铅厚膜材料的制备方法

2005年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本发明提供了一种锆钛酸铅厚膜材料的制备方法，该方法包括前驱体溶液的配制，即将溶剂乙二醇甲醚、稳定剂乙酰丙酮和溶质醋酸铅、钛酸四丁酯和四正丁氧基锆以1.0M的浓度，在无水系统下配制成均匀稳定的前驱体溶液。然后在SrTiO_3 基片上进行匀胶得到干膜，并在快速热退火炉中分段升温进行热处理，得到所需厚度的锆钛酸铅（简称PZT）厚膜材料。
本发明通过将每层凝胶膜热处理后的厚度控...
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