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集成铁电薄膜光开关器件研究

2005年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　1.用溶胶–凝胶发、射频磁控溅射法和双离子束溅射法生长具有优良的光学特性的铁电薄膜，获得最佳工艺，建立工艺规范，使生长的铁电薄膜具备制备铁电光开关器件的优良性能。研究铁电薄膜材料的性能，特别是主要表征光学常数及非线性光学系数，及其微观影响机制。
　　2.研究铁电薄膜光开关器件物理模型，设计光开关器件的结构，提出实际器件的物理模型和最佳设计。解决上下电极有关问题。
　　3...
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