首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

双盘连接基片装置及使用方法

2005年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种用于Veeco射频离子束溅射镀膜机的双盘连接基片装置及使用方法，该装置由固定盘、外接盘和基片构成，该固定盘的中心开有一轴套孔，该固定盘的边缘设有N个不穿透的螺孔；该外接盘的边缘与固定盘的螺孔相对处也开设N个尺寸相同的通孔，其中N为大于2的正整数；该外接盘依据基片的大小和形状开设一基片槽；基片盖板与基片槽相对应配套，该基片和基片盖板的相同部位分别开设有螺孔和通孔。...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统