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高速光电探测器

2005年

应用技术

中期阶段

成果简介

经5年来的不断努力，本课题的预定目标均已达到，并扩展了相关研究内容，在波长扩展探测器等方面取得了突破，全面超指标完成了预定计划。主要工作包括：设计了与LNA结构兼容的高速光电探测器结构，包括与HBT兼容的PIN结构及和HEMT兼容的MSM结构；优化了探测器材料的气态源分子束外延生工艺，探测器结构的晶格失配度控制在10^(-4)量级，材料的本底浓度控制在10^(15)～10^(16)/cm^...

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